机译:一种新颖的x轴音叉陀螺仪,在(111)硅上具有“ 8个垂直防弹质量”结构
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机译:负静电弹簧效应的刚度匹配法降低微机械音叉陀螺仪的振动灵敏度
机译:一种新型差动电容式双轴加速度计设计,采用摆型校样,Gimbal-Springs和伤害垂直 - 梳子
机译:具有高品质因数的多光束音叉陀螺仪的接口电路。
机译:负静电弹簧效应的刚度匹配法降低微机械音叉陀螺仪的振动灵敏度
机译:具有“8垂直弹簧 - 质量”的新型X轴调谐叉陀螺仪 (111) - 硅上的结构